蔡司Sigma 300/500系列是擁有高品質成像和分析功能的場發射掃描電鏡。它收益于久經考
驗的Gemini電子光學技術。Sigma300/500可以配備多種探測器，可以滿足不同的應用需求：顆粒物，表面構型及納米結構等樣品的成像。利用Sigma 300/500直觀的4 步工作流程，可以使得日常所需的成像和分析的效率得到提高。

更新時間：2025-03-04

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產品分類

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產品介紹

蔡司 Sigma 300 系列掃描電子顯微鏡

擁有高品質成像和分析功能的場發射掃描電鏡

InLens 探測器

InLens SE: 鏡筒內高分辨二次電子探測器

HDBSD探測器

高清晰度背散射電子探測器，在所有真空模式下，可對各類樣品進行出色的低電壓組份成像

智能并加速工作流程

Sigma 300的4 步工作流程可控制Sigma 的所有功能?？煽焖佾@取圖像，同時，節約在培訓上的時間。.

導航您的樣品，并為其設置的成像條件。

在樣品上定義感興趣區域，可自動實現在多個樣品上采集圖像。

獲得可關聯的可視化結果。

*進的分析系統

n 在樣品上定義感興趣區域，可自動實現在多個樣品上采集圖像。

n 獲得可關聯的可視化結果。

n 掃描電鏡與要素分析相結合：

Sigma 300頂尖的EDS 幾何設計能夠增強分析能力，尤其是對電子束敏感的樣品。

n 可實現在之前一半的束流下得到分析數據，同時測試速度比之前快一倍。

n 8.5mm 的工作距離和35 度的出射角，可得到沒有陰影區域的分析結果靈活的探測手段獲取高分辨率的圖像。

靈活的探測手段獲取高分辨率的圖像

n 使用最新探測器技術描繪您的所有樣本。

n 使用新型的ETSE 二次電子探測器及用于高真空狀態下的InLense 二次電子探測器可以獲得高分辨率的形貌信息。

n VPSE 和C2D探測器在各種壓力模式下都可以獲取清晰的圖像。

n 使用環形STEM 探測器可以獲取高分辨率的傳送圖像。

n 使用四通道BSD探測器和釔鋁石榴石晶體探測器研究成分。

技術參數

主要技術參數
蔡司Sigma 300		蔡司Sigma 500
電子槍	肖特基場發射	肖特基場發射
15kV 對應分辨率	1.0 nm	0.8 nm
1kV 對應分辨率	1.6 nm	1.4 nm
背散射電子探測器類型	HD BSD	HD BSD
最大掃描速度	50 ns/pixel	50 ns/pixel
加速電壓	0.02 – 30 kV	0.02 – 30 kV
放大倍率	10× – 1,000,000 ×	10× – 1,000,000 ×
探針束流	3pA -20nA (選 20nA ) 6pA -100nA (選 100nA)	3pA -20nA (選 20nA ) 6pA -100nA (選 100nA)
圖像存儲分辨率	32 k × 24 k pixels
接口	12
能譜接口	2 ( 1 個 EDS 專用及誒口) 3 (2 個 EDS 專用及誒口)
高真空模式	Yes	Yes
樣品倉尺寸	365 mm (?) x 275 mm (h)	2 – 133 Pa 358 mm (?) x 270.5 mm (h)
樣品臺種類	全電動5軸樣品臺可選配全電動5軸樣品臺	全電動5軸優中心樣品臺
X 方向移動范圍	125mm	130mm	125mm
Y 方向移動范圍	125mm	130mm	125mm
Z 方向移動范圍	50mm	50mm	50mm
傾斜范圍	-10 to +90 degrees	-3 to +70 degrees -10 to +90 degrees
旋轉范圍	360° Continuous	360° Continuous 360° Continuous
最大樣品載重	Up to 0.5 kg all axes, up to 2kg without tilt, up to 5 kg on XY platform only Up to 0.5 kg	Up to 0.5 kg all axes, up to 2kg without tilt, up to 5 kg on XY platform only
最大樣品尺寸	250 mm (?) x 145 mm (h), With the ZTR module removed; At the analytical working distance